内部量子效率反应了太阳能电池对不同波长的光电转换效率，而太阳能电池转换效率的好坏，受到了电池本身材料、制程、结构等因素影响，使其不同波长有不同的转换效率。利用光谱响应技术来检测、分析电池在不同条件下，所造成转换效率的变化，可以分析制程的优劣，并找出相关效率的关键因素。
原理是用强度可调的偏置光照射太阳电池，模拟其不同的工作状态，同时测量太阳电池在不同波长的单色光照射下产生的短路电流，从而得到太阳电池的光谱响应。其计量特性包括：单色光光斑不均匀性、偏置光光斑不均匀性、偏置光光谱匹配度、相对光谱响应测量示值误差、光谱响应测量重复性、短路电流测量示值误差、反射率测量示值误差、波长示值误差、光谱带宽、温控平台示值误差、稳定性和均匀性。
内部量子效率系统的技术特点：
（1）完整的太阳能电池量子效率测试和分析解决方案；
（2）移动样品平台，准确固定样品；
（3）图形化界面软件，操作方便；
（4）支持Exce1、ASCII、XL格式数据导出；
（5）报表打印功能，自动生成完整的测试报告；
（6）温度控制功能，IEC标准测试条件；
（7）直流和交流两种测量模式供选择；
（8）适用于各种材料的太阳能电池，包括硅太阳能电池、半导体薄膜太阳能电池、染料敏化太阳能电池、钙钛矿太阳能电池等；
（9）适用于多种结构的太阳能电池，包括单结、多结、异质结、薄膜、高聚光等。
